| 品牌 | 激光大师Ltt |
|---|---|
| 型号 | 先行者 |
外延片晶圆激光雕刻机 产品说明：
ILS系列外延片晶圆激光雕刻机广泛应用于外延片（芯片、磊晶）行业，主要用来雕刻序列号，品质稳定，雕刻精细，速度快，保证产品质量。台湾兆晶、上海蓝宝、云南蓝晶等公司目前都在使用ILS系列芯片激光雕刻机。
原装进口ILS系列智慧型高精度外延片晶圆激光雕刻机是台湾**大的工业用镭射系统制造商悉心研制的具有国际水准的**设备，其核心部件全部从美国原装进口,曾荣获“台湾**奖”；『激光大师』全球知名品牌，台湾原装设备。历经20年市场风雨考验，全球同步销售。外延片晶圆激光雕刻机以全电脑化操控，人性化设计**的性价比而享誉同行，填补了雕刻机不能切割，切割机不能雕刻的行业空白。精彩绝伦的雕刻**的切割(高精度半切割/全切割工艺)，1524mm/s超高速、超加速的长期无故障运行，是当前外延片晶圆激光雕刻机中的**选择！
ILS系列外延片晶圆激光雕刻机拥有**设计、易学好用的特性，工作台面为A2尺寸(或更大尺寸)，电控式Z轴升降，实用贴切的前后开门设计，让您的加工作业更灵活，更有弹性。工作区有内置照明装置，这个贴心的设计可使您清晰掌控工作状况。除此之外，ILS系列外延片晶圆激光雕刻机具有高分辨率、高内存、高速度、高精度、高稳定性等重要特点，堪称工业用行业标准外延片晶圆激光雕刻机，是掌握速度与精度的**雷射系统，是您提高工作效率上的**伙伴及有效工具！
1、斜肩：此功能使得极细线的部分增加了强度
2、反白：点选此功能，能使得黑白反转
3、镜射：可自动将图档水平反转
4、补正：可防止原来图档中的边缘被雷射光打到，影响精度
5、打点：可定点打孔，可任意设定停滞及位移的时间
6、位置调整：可任意设定要雕刻或是切割的位置，不需要在电脑上做修正
7、浮雕：可识别颜色及灰度产生浮雕效果
外延片晶圆激光雕刻机技术参数表：
| 型号 | ILS-IIINM | ||||
| 有效工作幅面 | 660 × 495mm | ||||
| 激光功率 | 25W / 30W / 55W / 60W / 100W | ||||
| 激光源 | 美国原装金属射频激光源、风冷 | ||||
| 激光波长 | 10.64μm | ||||
| 功率控制 | 数位式功率控制，可由0.1～**无段控制，且可依图形成比例的控制脉波产生速度，同时可依图形颜色设定不同功率。 | ||||
| 聚焦镜 | 标配1.5"聚焦镜 | ||||
| **大速度 | 1524mm/sec(60"/sec) | ||||
| 重复精度 | 0.001mm | ||||
| 定位精度 | 0.01mm | ||||
| 分辨率（DPI） | 1000、500、333、250、200、166 | ||||
| **大容纳尺寸 | 640(L) × ∞ (W) × 210 (H) mm | ||||
| Z轴工作台调整 | 0～210mm、电动升降 | ||||
| 记忆体容量 | 标准64MB高记忆体，可同时存储99个档案 | ||||
| 显示荧幕 | 大尺寸LCD显示器上有目前执行档案、激光功率、切割雕刻速度、执行时间、已储存档案內容，及自动侦错等多项功能显示 | ||||
| 传输接口 | USB接口、以太网络连接接口 | ||||
| 开门设计 | 前后开门设计 | ||||
| 对焦方式 | 手动/自动对焦 | ||||
| 驱动程式语言 | 可切換中、英文或自定语系 | ||||
| 使用软件 | 所有Windows兼容的CAD及绘图软件皆可 | ||||
| 操作方式 | 可利用Windows兼容的打印机驱动程式来设定，或从操作面板由人工设定 | ||||
| 安全规格 | 符合CDRH Class 1 安全规范，通过CE、RoHS认证 | ||||
| 冷却系统 | 气水分离器 | ||||
| 排气设备 | 外部排气设备 6.0m3/min、4寸风管 | ||||
| 定位指示 | 红光模组 | ||||
| 可选配置 | 旋转辅助器、切割平台、真空下吸蜂巢网、印章夹具、网络打印服务器 | ||||
| 动力规格 | 110/220V AC 、10/15AMP、50/60HZ | ||||
| 整机重量 | 200Kg(25W) | 205Kg(30W) | 225Kg(55W) | 228Kg(60W) | 255Kg(100W) |
| 外型尺寸 | 970(L) ×865(W) ×990 (H) mm | ||||
